Statistik termodinamika fanining shakllanishi XIX asrning ikkinchi yarmida boshlangan. Bu davrda fizik olimlar molekulalarning mavjudligini aniq isbotlab berishga harakat qilishgan. L.Boltzmann statistik yondashuvni termodinamikaga tatbiq qilgan eng birinchi olimlardan bo‘lib, u entropiya tushunchasini ehtimollik bilan bog‘lagan va mashhur formulani keltirib chiqargan: S=k lnW Bu yerda S — entropiya, k — Boltzmann doimiysi, W— ehtimolli mikroholatlar soni. Keyinchalik, Maksvell molekulalarning tezliklari taqsimoti nazariyasini ishlab chiqdi.